高效大功率LED用蓝宝石图形衬底制备的研究进展

作者：桂全宏; 周福强; 汪桂根; 崔林; 黎凌华; 严帅; 韩杰才

来源：功能材料, 2012, 43(21): 2886-2892.

• 蓝宝石图形衬底
• GaN
• LED

近年来,图形化的蓝宝石衬底在改善GaN晶体外延生长质量以及提升LED器件发光提取效率方面作用显著,引起了广泛的研究兴趣。综述了蓝宝石图形衬底的制备方法(干法刻蚀、湿法刻蚀、外延生长法),并较系统地介绍了蓝宝石图形衬底表面周期性图形参数(图形形貌、图案尺寸、图形占位比及其深度)对LED发光薄膜及器件的影响及其机理,最后对蓝宝石图形衬底的发展趋势进行了展望。

• 单位
  深圳市沃尔核材股份有限公司; 哈尔滨工业大学深圳研究生院