本发明提供了一种三元稀土六硼化物(La-xPr-(1-x))B-6[100]单晶体,其制备方法和包含该单晶体的电子束焊机的阴极器件。在所述单晶体中,0<x<1,并且所述单晶取向[100]。所述三元稀土六硼化物(La-xPr-(1-x))B-6单晶体相较于六硼化物单晶拥有更优异的热发射性能,相较于四元掺杂拥有更高的均匀性、稳定性和实用性。由所得样品的伏安特性曲线可知,样品具有比六硼化镧单晶更优的热发射性能。