国内半导体制造行业经过几十年的产品生产及技术升级,其产品已向微型化发展。与此同时,外观检测还保持着人工方式,这也受到了下游客户的越来越多的质疑及挑战。基于此,自动光学检测系统的引入就被提到了紧要的地位。该系统采用嵌入式微控器加彩色线阵CCD捕获产品原始图像,然后通过滤波、边缘检测等实现被测产品的在线检测、分析判断并通过巧妙的机构来实现不良品的自动剔除。经过实际生产检验,该系统图像捕获、处理及分析均准确可靠,并实现了10pcs/s的产品图检测及剔除。
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