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摘要
本发明公开了一种适于气浮系统的玻璃基板检测方法。该检测方法包括以下步骤：(1)将气浮板上的正压喷嘴和负压喷嘴设置为间隔点阵排列；(2)沿气浮板斜向排列的负压喷嘴位置设为扫描路径；(3)光源向下照射到由气浮板承载的被测玻璃基板的表面,以相机作为接收器沿着扫描路径对被测玻璃基板进行斜向扫描,实现被测玻璃基板不同位置的反射成像。本发明通过设计正负压喷嘴排列方式以及控制相机扫描路径,使得扫描路径始终沿着玻璃基板振动的波谷进行检测,从而将玻璃基板的振动对检测结果的影响减少到最小,相应地提高了测量精度。
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