1.3～2.7μm带通滤光膜研制与分析

作者：岳威; 王栩榕; 苑利纲; 韩永昶; 张阔; 刘连泽; 张振坤

来源：红外, 2022, 43(08): 1-7.

• 近红外
• 带通滤光膜
• 透过率
• 薄膜制备
• 氧化铝

光学薄膜技术广泛应用于几乎所有的光学系统、光电系统和光电仪器。新型探测器的发展对1～3■m近红外波段附近的能量响应提出了滤波的要求。从电磁场理论和麦克斯韦方程出发，介绍了光学薄膜的设计理论，论述了带通滤光膜的设计方法。基于Optilayer软件，以氧化铝为基底，设计了一种工作波段为1.3～2.7■m的近红外带通滤光膜。考虑到镀膜材料的匹配性问题，选择硫化锌和氟化镱作为高、低折射率材料。采用长波通与短波通相结合的设计方法，并用Optilayer软件完成了膜系的计算和优化。在氧化铝基底双面镀制膜，用电子束蒸发和离子束辅助沉积的制备工艺完成了膜系镀制。用分光光度计对制备样品进行了透过率测试。结果表明，在1.3～2.7■m设计波段，样品的平均透过率大于95%,符合带通滤光膜的设计要求。

• 单位
  华北光电技术研究所