光谱仪纯化设备

来源：低温与特气, 2018, 36(02): 40.

<正>申请(专利)号:201720253859.2公开(公告)日:2017-12-01申请(专利权)人:淄博安泽特种气体有限公司摘要:摘要:本实用新型涉及一种光谱仪纯化设备,用于快速生产超纯氩气供光谱仪等使用,包括液氩储罐,液氩储罐的出液口经低温泵连接至汽化器,汽化器与脱氧纯化器相连接,脱氧纯化器的出气口连