降温速率对升级冶金硅定向凝固生长多晶硅少子寿命的影响

作者:刘志辉; 罗玉峰; 龚洪勇; 饶森林; 张发云; 胡云
来源:人工晶体学报, 2017, 46(01): 13-17.
DOI:10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2017.01.003

摘要

对经过前期提纯的冶金级硅料进行一次性定向凝固生长多晶硅铸锭,研究了长晶阶段降温速率对多晶硅少子寿命的影响。结果显示降温速率越低,获得多晶硅少子寿命越高,但降温速率低到一定程度时,少子寿命反而会降低。通过测试生长多晶硅硅锭曲率半径、晶体结构等数据,分析了该现象的产生原因。这将有助于升级冶金硅一次性定向凝固生长多晶硅铸锭的生产应用。

全文