摘要

<正>碳元素在自然界中分布广泛,可以多种碳材料的形式存在。由于具有诸多优异综合特性,无论在我们日常生活中,还是在先进制造、航空航天、海洋、信息、生物等高技术战略科技领域,碳材料都一直扮演着非常重要的作用。非晶碳基薄膜(Diamond-like carbon,DLC)是一大类碳材料,由石墨相-sp2/金刚石相-sp3混合组成,根据制备方法可含有一定量氢、金属等,具有高硬度耐磨、低摩擦润滑、化学惰