四象限传感器在高精度物料传输系统中的定位应用

作者：孙敏; 谭立杰; 宋婉贞; 符瑶

来源：电子工业专用设备, 2023, 52(01): 55-59.

• 四象限
• 定位传感器
• 物料传输

基于四象限光电传感器技术，针对大型半导体物料传输设备的高精度定位需求，设计了一套高精度定位和补偿系统。经过验证，这种基于四象限传感器的定位方法可有效应用于高精度物料传输系统，进行定位并且进行位置补偿后完成物料准确定位传输。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所