N离子注入非晶碳膜的CN成键研究

作者：林景波; 李俊杰; 李哲奎; 顾广瑞; 盖同祥; 金哲; 胡超权; 吕宪义; 金曾孙

来源：吉林大学学报(理学版), 2005, (03): 324-327.

DOI：10.13413/j.cnki.jdxblxb.2005.03.016

• N离子注入
• 非晶碳膜
• 磁控溅射
• 键合结构 N-implantation
• amorphous carbon film
• magnetron sputtering
• chemical bonding structure

利用Raman和XPS研究N离子注入前后非晶碳膜化学键合的变化及CN成键情况. 结果表明, 被注入到非晶碳膜内的N与C原子结合, 形成sp3 CN, sp2 CN和C≡N键. 随着N离子注入剂量的增加, 膜内sp3 CN键的含量相对增多, 表明N离子注入更有利于sp3CN键的形成.

• 单位
  超硬材料国家重点实验室; 延边大学; 吉林大学