图形化蓝宝石衬底干法刻蚀工艺的研究

作者：侯想; 刘熠新; 钟梦洁; 林赛; 刘杨; 罗荣煌; 罗学涛; 张飒

来源：中国机械工程, 2021, 1-10.

• 图形化蓝宝石衬底
• 三氟甲烷
• 刻蚀选择比
• 正交实验

为了缩短刻蚀时间以及提高发光二极管（LEDs）的发光性能，在感应耦合等离子（ICP）机台上通过正交实验研究了添加三氟甲烷(CHF3)后各主要因素对刻蚀速率和选择比的影响，获得最佳工艺参数并制备出大尺寸、高占空比、小弧度图形化蓝宝石衬底（PSS）。实验结果表明：当偏压功率350W、CHF3流量15sccm、自动压力控制蝶阀开合度（APC）55%时，有着各正交实验因数中最高的刻蚀选择比以及第三高的蓝宝石刻蚀速率。与常规工艺相比，优化后的工艺参数制得的PSS高度提高了5.6%、占空比提高了4.6%。

• 单位
  厦门大学; 材料学院