波导型表面等离子体共振传感器传感特性计算

作者：吴斌; 王庆康

来源：微纳电子技术, 2007, 44(12): 1063-1067.

DOI：10.3969/j.issn.1671-4776.2007.12.007

• 表面等离子体共振传感器
• 理论模型
• 共振波长
• 透射谱

介绍了集成波导型表面等离子体共振传感器工作原理和基本结构,用传统波导模式的分析法结合表面等离子体波的色散方程,计算集成波导型表面等离子体共振传感器理论模型的共振波长.通过基于菲涅耳方程的解析分析,得到了含有表面等离子体共振吸收峰的透射谱.通过比较不同折射率被测物的透射谱,粗略确定了集成波导型表面等离子体传感器的检测范围.

• 单位
  薄膜与微细技术教育部重点实验室; 微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 上海交通大学