纳秒脉冲驱动下铝基微沟道等离子体放电特性研究

作者：麻晓琴; 周璇; 王耀功; 杨静远^*; 张小宁

来源：真空科学与技术学报, 2019, 39(09): 759-766.

DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2019.09.03

• 微沟道器件
• 微沟道等离子体
• 双极性脉冲
• 等离子体传输

本文设计制作了基于铝基衬底的微沟道阵列器件,并研究了纳秒脉冲微沟道等离子体放电特性。通过调控纳秒脉冲输出波形,获得了脉冲参数对微沟道等离子体放电特性的影响规律。结果表明,相比于传统的正弦波驱动,纳秒脉冲微沟道等离子体放电更集中,耦合效应更明显,且等离子体特性更易于调控。当改变脉冲参数时,6%左右的波形过冲电压会造成微沟道等离子体放电强度～30%的改变。另外,脉冲上升沿时间越短,放电强度越高,当上升沿时间由152 ns缩短至32 ns时,放电强度可提升～30%。

• 单位
  西安交通大学