本发明公开了一种柔性集成电路基板图像超分辨率重建的方法,包括两个步骤,第一步对低分辨率的柔性集成电路基板图像应用逆采样构造拟合曲面进行初始放大图像操作,第二步对放大后的图像应用分数阶偏微分方程进行后处理,得到放大后的高分辨率图像。本发明有效提高柔性集成电路基板图像超分辨率重建的清晰度。