压电倾斜镜中堆叠式压电陶瓷驱动器动态应力计算分析

作者：冉兵; 赵帝植; 文良华^*

来源：激光与光电子学进展, 2022, 59(05): 1-10.

• 压电倾斜镜
• 堆叠式PZT驱动器
• 应力集中
• 压电耦合
• 响应曲面

针对压电快速倾斜镜（PFSM）堆叠式压电陶瓷（PZT）(Pb(Zr,Ti)O3)驱动器伸长和弯曲变形的应力集中问题，依据Timoshenko模型，分析了堆叠式PZT驱动器的伸长弯曲变形模型。基于压电耦合理论分析了堆叠式PZT驱动器动态应力与驱动电压幅值、驱动电压频率和PZT驱动器顶部柔性铰链抗弯刚度的关系。采用响应曲面法获得了300 mm口径PFSM的优化设计和工作参数。研究方法和分析结果可以为优化PFSM关键元件参数，降低堆叠式PZT驱动器应力集中，提高PFSM的耐久性和可靠性提供参考和借鉴。

• 单位
  宜宾学院