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摘要
叠层成像(ptychography)的成像分辨率受数值孔径和CCD像素尺寸限制。CCD靶面有限则数值孔径有限，当大光斑采集图像时，CCD靶面边缘易丢失部分高频信息。此外，像素尺寸较大导致采样率不足，也会丢失部分细节高频信息。本文提出了一种高分辨率叠层成像方法，可同时处理数值孔径和CCD像素尺寸的限制问题。本方法首先利用外推法补充因数值孔径有限丢失的高阶衍射信息，之后将外推法重建的图像代入基于多权重损失函数的生成对抗网络(Generative Adversarial Networks,GAN)中，即可快速解决像素尺寸受限问题，提高成像分辨率。多权重损失函数为均方误差(mean square error,MSE)、特征图误差和对抗误差的加权和，通过设置合理权重，实现像素和视觉层面的均衡处理。仿真及实验结果表明，该方法在提高叠层成像系统分辨率上具有显著效果，且运算效率高。
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