金属氧化物半导体-场效应晶体管(MOS-FET)是半导体制造技术中最具典型的功能器件,也是应用最广泛的电子元件。同时,MOS-FET晶体管制造工艺是半导体技术制造工艺的风向杆,当前芯片制程工艺的研发重点都是以MOS-FET晶体管制造工艺为主。下面将从专利技术数据库对MOS-FET(简称MOS晶体管)专利的申请及分布做简要数据分析。
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