钛合金压阻式压力传感器玻璃烧结基座的制备及工艺研究

作者:徐绍华; 冯庆*; 华斯嘉; 王哲; 焦明; 刘卫红; 杨文波; 郗雪艳
来源:新技术新工艺, 2023, (02): 31-35.
DOI:10.16635/j.cnki.1003-5311.2023.02.010

摘要

钛合金具有比强度高、耐高温、耐腐蚀等优良特性,以其作为外壳的传感器在恶劣环境下的工作能力远优于不锈钢作为外壳的传感器。基于钛合金的上述特性,首先系统地研究了钛合金压阻式压力传感器玻璃烧结基座的制备工艺,针对制备过程中表面处理及镀金后烧结基座存在的气密性差、绝缘电阻不良等问题进行了分析与讨论,并给出了解决方案,最终生产出了满足客户要求的产品。

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