化学机械抛光技术研究现状及发展趋势

作者：燕禾; 吴春蕾; 唐旭福; 段先健; 王跃林

来源：材料研究与应用, 2021, 15(04): 432-440.

• 化学机械抛光
• 研究现状
• 发展趋势

综述了化学机械抛光技术的发展现状.介绍了化学机械抛光系统的组成及工作原理,着重阐述介绍了系统各部分的构成及作用,并对化学机械抛光未来的发展趋势作了展望.

• 单位
  广州汇富研究院有限公司