6英寸高压晶闸管的研制

作者:刘国友; 黄建伟; 舒丽辉; 李世平; 邹冰艳; 王大江
来源:电网技术, 2007, (02): 90-92.
DOI:10.13335/j.1000-3673.pst.2007.02.018

摘要

基于5英寸换流阀晶闸管的设计和工艺技术平台,通过优化杂质扩散工艺、光刻版设计和台面造型保护工艺,保证了掺杂分布的均匀性、重复性和可控性,以及器件良好的阻断特性,确保器件获得较高的电流上升率、电压上升率,研制出了6英寸4000A/8000V高压晶闸管样品。并采用电子辐照技术得到进一步优化,对器件的通态压降与反向恢复电荷的折衷关系。

  • 单位
    株洲南车时代电气股份有限公司

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