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摘要
如何实现转子自由、稳定悬浮,以及对悬浮系统的优化设计是实现一个性能优良的磁悬浮转子微陀螺的关键。本文利用铁氧体作为悬浮磁芯,采用LC调谐式的悬浮控制方式,设计了一种尺寸在毫米量级的磁悬浮转子陀螺实验装置,讨论了转子的旋转和悬浮驱动。研究结果表明这种装置能够使转子比较稳定地悬浮、旋转,并验证了实现五个自由度检测的类似结构微型磁悬浮转子陀螺的可行性,为微陀螺的设计、加工提供理论和实验依据。
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单位电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室
