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摘要
为了探究Nb3Sn超导线材中Ta阻挡层的去除方法，选取内锡法制备的Nb3Sn超导线材为实验对象，研究了线材在HF溶液、HF气氛、HF和H2O2的混合溶液以及HF和HNO3的混合溶液中的腐蚀行为和特征，利用SEM和OM分析了线材微观结构和腐蚀形貌。结果表明，Ta层在HF和HNO3的混合溶液中腐蚀最快，在HF和H2O2的混合溶液中次之，在HF气氛中较慢，在HF溶液中最慢。综合腐蚀后效果，采用HF和H2O2的混合溶液进行腐蚀是去除Nb3Sn超导线材中Ta阻挡层的最佳方法。同时，选取高纯Ta片为研究对象，分别在上述介质中进行腐蚀实验，并通过OM、XRD和XPS观察和分析试样腐蚀形貌、物相结构变化和腐蚀溶液中的元素价态，揭示了Ta的腐蚀机理，氧化剂的存在可以通过加快Ta表面Ta2O5膜的形成来加快HF对Ta的腐蚀速率。
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