电子工业洁净室工艺排气检测及调试

作者：翟传明; 章忠飞; 王娟娟; 苏乃硕; 闻义; 张扬艺

来源：智能建筑与智慧城市, 2019, (02): 35-38.

DOI：10.13655/j.cnki.ibci.2019.02.013

• 电子工业
• 洁净室
• 排气
• 检测与调试

工业洁净室排放的气体包含较多有毒、腐蚀性气体,且极易产生冷凝液,对洁净室环境及工作人员安全造成很大的隐患。论文结合实际工程,对洁净室工艺排气检测和调试进行了分析,通过数据分析和对比排除安全隐患,保障工业洁净室安全运行。

• 单位
  中电投工程研究检测评定中心; 京东方科技集团股份有限公司