一种高性能氧化钒热敏薄膜的制备和应用

作者：马占锋; 王颖; 汪超; 叶帆; 高健飞; 黄立^*

来源：红外与激光工程, 2021, 50(02): 70-75.

• 氧化钒薄膜
• 反应磁控溅射
• TCR
• 非制冷红外焦平面探测器

报道一种制备高性能氧化钒热敏薄膜的方法和其应用。采用反应磁控溅射薄膜沉积技术,通过改变氧化钒热敏薄膜沉积时溅射功率,从而调整钒原子在溅射出来之后接触到基片表面时的沉积速率,同时通过对设备进行改造升级,即在钒溅射腔腔外增加一个控制电源来精确控制溅射电压及氧气分压等参数来精确控制反应过程中电流密度,优化了氧化钒薄膜的制备工艺,制备出方块电阻为500 kΩ/□,电阻温度系数(TCR)为-2.7%K-1的氧化钒薄膜。实验测试结果表明,利用高性能氧化钒热敏薄膜制作的非制冷红外焦平面探测器,其噪声等效温差(NETD)降低30%,噪声降低28%,显著提升了非制冷焦平面探测器的综合性能。

• 单位
  武汉高德红外股份有限公司