扩散硅谐振式压力传感器同频干扰的建模与消除

作者：赵晋敏; 李守荣; 王军波; 陈德勇; 刘磊; 史晓晶

来源：传感技术学报, 2009, (03): 362-365.

• 扩散硅
• 谐振式微机械压力传感器
• 同频干扰
• 非对称激励
• 电磁激励和检测 diffused silicon
• micro-machined resonant pressure sensor
• co-channel interference
• nonsymmetrical excitation
• inductive excitation and detection

为简化谐振式微机械压力传感器的制备工艺,提出了一种采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器,并采用电磁激励实现传感器的闭环控制。实验中发现:由于采用扩散硅材料,传感器受到较为严重的同频干扰影响,因此,消除传感器的同频干扰成为需要解决的一个主要问题。通过对采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器微结构进行分析,建立了传感器主要噪声来源同频干扰的等效电路模型,据此提出一种新的不对称双端激励解决方法。实验结果表明,该方法可有效地降低传感器的同频干扰,传感器的信噪比由1.53提高至35,为传感器闭环激励和检测提供了有效的手段。

• 单位
  华北电力大学; 电子工程学院; 传感技术国家重点实验室; 中国科学院电子学研究所