N-羟基-3,6-内氧桥-4-环己烯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯的合成及性能研究

作者：王霞; 李平

来源：山东科技大学学报(自然科学版), 2008, (05): 90-93.

DOI：10.16452/j.cnki.sdkjzk.2008.05.004

• 酰亚胺
• 苯磺酸酯
• 产酸剂 imide
• benzene sulfonate
• photoacid generator

以马来酸酐、呋喃、盐酸羟胺和对甲苯磺酰氯为起始原料,合成了一种新的非离子型产酸剂N-羟基-3,6-内氧桥-4-环己烯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯,优化了中间产物的合成条件,通过红外表征测定了中间产物和最终产物的化学结构;测定了产物在常用有机溶剂中的溶解性,并通过紫外表征测定了其紫外吸收性。实验结果表明,该产物在常用有机溶剂中具有良好的溶解性,并在248 nm波长处有好的透明性,可用于248 nm光刻工艺体系。

• 单位
  华中科技大学; 铜仁学院