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摘要
制作了同面型砷化镓光导开关，并测试了其导通性能。在偏置电压8 kV、激光能量10 mJ、重复频率10 Hz的条件下，研究了光导开关触发104次后器件表面的损伤形貌。利用激光扫描共聚焦显微镜，对电极边缘及电极间的损伤形貌进行分析，研究发现阳极边缘由于热积累形成热损伤，而阴极边缘的热损伤来源于热应力，并对电极间损伤形貌进行细致表征及分类。
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单位山东大学; 中国工程物理研究院流体物理研究所; 晶体材料国家重点实验室
制作了同面型砷化镓光导开关，并测试了其导通性能。在偏置电压8 kV、激光能量10 mJ、重复频率10 Hz的条件下，研究了光导开关触发104次后器件表面的损伤形貌。利用激光扫描共聚焦显微镜，对电极边缘及电极间的损伤形貌进行分析，研究发现阳极边缘由于热积累形成热损伤，而阴极边缘的热损伤来源于热应力，并对电极间损伤形貌进行细致表征及分类。
