以商业化的纳米碳酸钙为模板,采用硅化学气相沉积方法制备了具有内联通结构的纳米空心硅材料,通过控制管式炉温区和化学气相沉积时间合成了具有不同壁厚的纳米空心硅样品,随硅层厚度的增加,样品的首次库仑效率有所提高但容量保持率下降。当硅层厚度为10 nm时,材料经100次循环后比容量为~980 mAh/g,容量保持率为91%;循环后的纳米空心硅材料中空结构及硅壁厚度无明显变化,且材料颗粒表面的SEI膜没明显增厚,表明该材料具有良好的结构稳定性和界面稳定性。