一种六维力传感器及改善六维力传感器温度漂移的方法

来源：传感器世界, 2019, 25(08): 50.

<正>申请号:201810882484【公开号】CN108801531A【公开日】2018.11.13【申请日】2018.08.06【申请人】海伯森技术(深圳)有限公司【发明人】郑泽鹏;丁海鹏;王国安;孙久春;吴伟锋;周飞【摘要】本发明涉及传感器技术领域,特别涉及一种六维力传感器及改善六维力传感器温度偏移的方法,该六维力传感器包括内圈结构、外圈结构以及均匀分布在内圈和外圈结构之间的若干测量梁。测量梁包括四个臂面,分别