扁平振动电机驱动的无阀微泵的研究

作者：苏波; 王登伟

来源：微电机, 2011, 44(4): 23-25.

DOI：10.3969/j.issn.1001-6848.2011.04.006

• 扁平振动电机
• 无阀微泵
• PDMS振动膜
• 扩散口/喷口

研制了一种新型的电磁驱动式无阀微泵,该微泵利用有机玻璃制作泵腔,采用扩散口/喷口的结构,以PDMS作为振动膜,利用扁平振动电机作为驱动部件.对微泵的振动频率和输出流量进行了测试,结果显示,电压在1.0 V～1.8 V范围内时,微泵的输出流量随着电压的升高而增加,当电压在1.8～3.3 V时,微泵输出的流量保持稳定,达到150 μL/min.具有良好的性能和低廉的成本.

• 单位
  中国科学院微电子研究所; 首都师范大学