一种太赫兹多模阵列探测器接收系统

作者:朱凯强; 孙厚军; 秦华; 肖钰; 丁青峰; 赵国强; 王翊坤
来源:2022-07-18, 中国, CN202210839599.2.

摘要

本发明公开了一种太赫兹多模阵列探测器接收系统,系统包括太赫兹探测器阵列、太赫兹透镜阵列、太赫兹MEMS功分器、太赫兹本振源和多通道直流偏置电源。所述太赫兹本振源与所述太赫兹MEMS功分器连接;所述太赫兹透镜阵列与太赫兹探测器阵列连接,所述太赫兹探测器中设置有若干个探测器像元,所述多通道直流偏置电源与所述与太赫兹探测器阵列连接。一方面通过在太赫兹探测器阵列的上方加载太赫兹透镜阵列可以提高太赫兹探测器阵列的灵敏度;另一方面,本发明采用了MEMS工艺实现的功分器,以及阵列化的探测器芯片,降低了阵列的间距以及装配难度,并且可以显著提高成像速度。可广泛应用于太赫兹成像技术领域。