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化学法制备掺铝氧化锌透明导电薄膜的研究进展
作者:王银玲; 徐雪青; 何新华; 徐刚
来源:
化工新型材料
, 2008, (03): 9-11.
ZAO薄膜
电学光学性能
溶胶-凝胶
应用 ZAO thin film
optical and electrical property
sol-gel
influence factor
摘要
综述了掺铝氧化锌(ZAO)透明导薄膜的化学法制备技术、及应用前景,重点介绍了溶胶-凝胶法制备ZAO薄膜的热处理条件、溶胶浓度、陈化时间、加水量以及稳定剂种类和用量等方面对薄膜结构和性能的影响。
单位
华南理工大学
; 材料学院; 中国科学院; 中科院广州能源研究所
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