PECVD工序硅片上下料时掉片的解决措施

作者：吕沫

来源：电子工艺技术, 2020, 41(03): 178-181.

DOI：10.14176/j.issn.1001-3474.2020.03.015

• PECVD
• 掉片
• 机械精度
• 机器人运动轨迹

在太阳能电池片(硅片)的生产工艺流程中,镀膜(PECVD)工序硅片的自动化传输由全自动石墨舟上下料机完成。通过对机械精度的调整和优化机器人运动轨迹,制定了针对机器人插片时掉片这一问题的解决措施。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二研究所