<正>本文针对微透镜阵列制备工艺及性能评估,提出高质量和高效的制备工艺参数研究和光学性能检测的解决方案。在光通信、光信息处理和光计算领域起到推动光电子器件发展的作用。如付诸现实将产生百万经济效益。随着光信息处理和光计算技术的发展,光学产品的体积逐渐缩小,重量逐渐减轻,微小光学逐步发展起来。微小光学器件作为光子的重要信息载体,在光电子技术中发挥着互联、高速和高并行性的优势,其发展方向也朝着微型化、阵列化、集成化演变,是当今高科技技术的前沿发展之一。