约束刻蚀剂层技术对金属铝的微结构加工研究

作者：蒋利民; 黄选民; 田中群; 田昭武

来源：高等学校化学学报, 2006, (08): 1540-1544.

• 约束刻蚀剂层技术
• 微机电系统
• 铝
• 微加工
• 电化学

采用约束刻蚀剂层技术,以亚硝酸钠为先驱物,通过电化学氧化产生刻蚀剂(硝酸)刻蚀铝,并以NaOH为捕捉剂,在电极模板上形成约束刻蚀剂层.在金属铝表面加工出梯型槽微结构,加工分辨率约为500 nm.通过测量表面氢离子浓度,对捕捉剂的约束效果进行了分析.

• 单位
  南昌航空工业学院材料系; 固体表面物理化学国家重点实验室; 厦门大学; 化学化工学院