钇掺杂氧化铪薄膜的铁电与非线性光学性能研究

作者：刘继权^*; 黄飞; 秦俊; 王艳; 刘琦; 刘明; 邓龙江; 毕磊^*

来源：湘潭大学学报(自然科学版), 2019, 41(05): 93-103.

DOI：10.13715/j.cnki.nsjxu.2019.05.011

• 铁电二氧化铪
• 疲劳
• 抗辐照
• 非线性光学效应

铁电材料在铁电动态随机储存器、铁电场效应晶体管、铁电隧穿结和负电容器件等领域得到研究者的广泛关注.近年来,铁电二氧化铪(HfO2)材料由于具有CMOS兼容性、高介电常数、宽带隙等特点成了研究热点.该文使用脉冲激光沉积技术制备了钇掺杂铁电二氧化铪(HYO)并研究了其铁电和疲劳特性,指出薄膜的疲劳是由束缚在浅势阱中的注入载流子造成的畴壁钉扎效应引起.进一步研究了60Coγ射线对HYO薄膜铁电存储性能的影响,发现薄膜的抗辐照能力优于传统的铁电材料.最后,研究了基于HYO薄膜的非线性光学效应,计算出的HYO薄膜的二阶非线性系数为χ((2))=(6.0±0.5) pm/V.这些研究为铁电HfO2薄膜在存储和非线性光学领域的应用奠定了基础.

• 单位
  电子科技大学; 中国科学院微电子研究所