在微波设备微放电效应的研究中,低能电子的作用通常被忽略。本文重点研究了低能电子对单面介质加载微波部件微放电的影响,基于蒙特卡洛算法,建立了单面介质加载微波部件的微放电的模型,模拟了单面介质加载微波部件微放电的规律,利用数值的方法对波导中静电场进行求解并对电子的轨迹进行跟踪。通过对比经典的Vaughan二次电子发射模型(考虑低能电子)和Rice模型(没有考虑低能电子)的模拟结果,获得了低能电子对单面介质加载微波部件微放电的影响。