低损伤选择性发射极太阳电池激光工艺

作者：宋帅迪; 赵广全; 杨冬琴; 张竹青; 王强^*

来源：半导体技术, 2019, 44(11): 893-898.

DOI：10.13290/j.cnki.bdtjs.2019.11.012

• 选择性发射极(SE)太阳电池
• 激光
• 选择性掺杂
• 钝化发射极及背面接触(PERC)
• 磷硅玻璃(PSG)

钝化发射极及背面接触(PERC)太阳电池技术叠加激光选择性发射极(SE)制备工艺是近年发展起来的提升PERC太阳电池效率的有效方法之一,但是在SE的制备过程中易发生磷硅玻璃(PSG)层被激光烧蚀的现象,导致电池性能下降。通过研究激光波长、脉冲频率、激光功率和扫描速度对硅片表面形貌、表面方块电阻、电池性能的影响,探索高效率、低损伤SE太阳电池的制备方法。实验结果表明,在激光波长为1 064 nm、激光功率为2 W、脉冲频率为30 Hz条件下可获得最佳电池性能,SE太阳电池光电转换效率最高达到22.01%,与传统工艺制备的太阳电池相比提升约0.51%。

• 单位
  南通大学; 江苏东鋆光伏科技有限公司; 河海大学