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摘要
超纯氨气是电子工业中的重要电子气体,LED外延片在生产过程中,整个MOCVD反应过程在富N的环境下进行,每台MOCVD一天要用超纯氨气约40kg。氨气在MOCVD炉中只有约0.03%的N随反应氨气进入外延片中生成N层;约29.97%的氨气分解成氮气和氢气,最终以气态形式排入大气;约70%的氨气未发生反应。大量的气态氨通过管道排出,造成原材料的浪费。氨气是一种无色、有刺激性恶臭味的气体,它在常温下为气态,极易溶于水,氨作为国家法规限值排放污染物,具有毒性和腐蚀性,易对生态环境造成污染,因此MOCVD排放的废氨气处理已经成为LED芯片生产厂家迫切需要解决的问题。某光电公司为了防止废气排放对周围环境造成污染,决定利用气态膜分离技术对排放的含氨废气进行回收成一定的氨水,并产生一定的经济效益,达到变废为宝的目的。
