双离子束溅射制备近红外窄带通滤光片的光谱特性和表面形貌

作者：陈刚; 刘定权; 马冲; 王凯旋; 张莉; 高凌山

来源：光学学报, 2020, 1-11.

• 光学薄膜
• 离子束溅射沉积
• 带通滤光片
• 表面形貌 optical thin films
• dual ion beam sputtering
• narrow band-pass filters
• surface morphologies

为了观测大气层中的水汽含量、CH_4与CO_2的浓度，在蓝宝石（Al_2O_3）基片上研制了两种窄带通滤光片，其中心波长分别为1375nm和1610nm，带宽分别为15nm和60nm，透过率达到95%。基于F-P腔结构设计了带通滤光膜系，结合带外截止薄膜一并进行了优化。与电子束蒸镀薄膜相比，用双离子束溅射沉积方法制备了Nb_2O_5/SiO_2滤光片薄膜，表面质量明显改善，缺陷减少，表面粗糙度RMS值降低到1nm以下，显著改善了与光电探测器光耦合时的不均匀性。

• 单位
  中国科学院上海技术物理研究所; 上海科技大学; 中国科学院大学