氢终端金刚石半导体电学特性测量有效性影响因素分析

作者：郭建超; 蔚翠; 张雄文; 周闯杰; 何泽召; 刘庆彬; 高学栋; 崔波; 冯志红

来源：中国标准化, 2020, S1: 359-361.

• 氢终端金刚石
• 电学特性
• 测量有效性
• 影响因素
• 改善措施

本文对基于霍尔效应的氢终端金刚石半导体电学特性测量有效性影响因素进行讨论,并提出相应改善措施,使氢终端电学特性测量结果更为准确地为器件研制工作服务,同时也有助于氢终端金刚石半导体电学特性测量标准的建立。

• 单位
  中国电子科技集团公司第十三研究所