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摘要
使用溶胶-凝胶法在涂覆有Ti_5Si_3电极层的玻璃基板上成功制备了Ba/Sr为6∶4的BST薄膜,并对该薄膜在600℃进行了热处理。使用XRD,阻抗分析仪对薄膜进行了测试,研究了不同热处理条件对薄膜介电性能的影响。结果表明,由于非氧化物Ti_5Si_3电极层中氧空位等缺陷含量少,因此可成功制备缺陷少,质量良好的BST薄膜。快速升温可得到的薄膜晶相含量较多,多次重复热处理使薄膜中晶相的缺陷相对较少;控制薄膜的热处理条件,可以控制薄膜的电容和损耗。
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单位硅材料国家重点实验室; 浙江大学
