微型热导检测器的研究进展

作者：张敏刚; 胡君杰; 熊可; 潘义; 王少楠; 范挺; 周理; 谷雨; 周玉龙; 许向东

来源：中国测试, 2020, 46(08): 1-8.

• 微型热导检测器
• 热导池
• 灵敏度
• 综述

热导检测器是气相色谱仪的关键部件,主要用于气体成分和浓度的检测。与传统热导检测器相比较,微型热导检测器(μTCD)具有质量轻、体积小、灵敏度高等优点,能够集成到便携式气相色谱仪中,符合当前气相色谱仪微型化的发展趋势。该文系统概括μTCD的研究理论,从优化μTCD性能的角度,详细比较4种典型的μTCD的结构及其制备方法,并且基于μTCD热导池的封装技术,对其发展趋势进行展望。分析结果表明,当μTCD的热导池热丝支撑梁采用Si/SiNx复合结构时,输出信号可靠,检测灵敏度高。另外,与静电键合技术相比较,新型低温封装技术能够在室温条件下进行,更有利于检测到稳定的输出信号。

• 单位
  中国科学院成都有机化学研究所; 中国石油西南油气田分公司天然气研究院; 电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 中国测试技术研究院; 西南化工研究设计院有限公司