ZnO薄膜的分子束外延生长及性能

作者：周映雪; 俞根才; 吴志浩; 张新夷

来源：发光学报, 2004, (03): 287-290.

• 氧化锌
• 分子束外延
• X射线衍射
• 纳米晶
• 发光 ZnO
• MBE
• XRD
• photoluminescence

利用分子束外延 (MBE)和氧等离子体源辅助MBE方法分别在Si(1 0 0 )、GaAs(1 0 0 )和蓝宝石Al2 O3(0 0 0 1 )衬底上用Zn、ZnS或以一定Zn O化学计量比作缓冲层 ,改变衬底生长温度和氧压 ,并在氧气氛下 ,进行原位退火处理 ,得到ZnO薄膜。依据X射线衍射 (XRD)图 ,表明样品的结晶性能尚好 ,且呈c轴择优取向 ;实验结果表明在不同衬底上生长的ZnO薄膜 ,由于晶格失配度不同 ,其衍射峰也有区别。用原子力显微镜(AFM)观测薄膜的表面形貌 ,为晶粒尺寸约几十纳米的ZnO纳米晶 ,且ZnO晶粒呈六边形柱状垂直于衬底的表面。采用掠入射X射线反射率法测膜厚...

• 单位
  复旦大学; 应用表面物理国家重点实验室