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摘要
当今的电子产品正面临着颠覆性的演变，从笨重刚性设备发展到轻巧、柔软和灵活的设备，甚至需要生物相容性和可生物降解等。薄膜晶体管(TFT)是构成柔性电子的最常见的有源薄膜器件之一，在可穿戴和纺织集成系统、表皮设备和机器人人造皮肤等领域具有巨大潜力。首先介绍了TFT的种类和制备方法，对比了真空法和溶液法两者的优缺点；接着从TFT各功能层出发，包括绝缘层、半导体层和电极，对比了无机金属氧化物和聚合物材料体系，并总结了柔性TFT在传感器领域的研究进展和应用；最后，提出了柔性TFT在传感器领域存在的难点和问题，对其应用进行了展望。
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单位科学技术部高技术研究发展中心; 广东省技术经济研究发展中心
