水靶激光等离子体光源11～20nm波段光谱实验

作者：齐立红; 李忠芳; 尼启良; 陈波

来源：光学精密工程, 2005, (03): 272-275.

• 激光等离子体光源
• 光谱测量
• 软X射线
• 水靶 laser-produced plasma source
• spectral measurement
• soft X-ray
• water target

实验以水为靶材,Nd:YAG激光器为照射激光构成激光等离子体光源,产生软X射线极紫外辐射。利用McPHERSON247型掠入射软X射线真空紫外单色仪、AXUV100硅光电二极管,测量了11～20nm波段水靶激光等离子体光源的光谱。实验表明,在11～20nm波段水靶激光等离子体光源存在多条线谱,均由水中氧离子电子跃迁产生。所用单色仪光谱分辨率Δλ≤0.075nm,波长扫描间隔0.5nm。另外,采用在喷嘴处加热的办法,很好地解决了水进入真空系统后绝热膨胀与蒸发过程中温度骤降而结冰的问题,有效地抑制了喷射距离缩短,克服了等离子体对喷嘴腐蚀严重的问题。

• 单位
  中国科学院研究生院; 吉林大学; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室