ZEISS Sigma 500热场发射扫描电镜操作技巧及日常维护

作者：王志秀; 杨兵超; 易文才^*

来源：分析仪器, 2020, (01): 100-105.

• 场发射扫描电镜
• 图像质量
• 维护

主要介绍了扫描电镜的组成部分、工作原理及对扫描电镜的日常维护工作。并以ZEISS Sigma 500热场发射扫描电镜为例,结合扫描电镜的操作步骤,讨论了影响扫描电镜图像质量的主要因素及操作技巧。

• 单位
  曲阜师范大学