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摘要
光学薄膜元件是高功率激光器中的关键器件，其抗激光损伤的能力对整个激光系统的运行至关重要。精确测量薄膜元件激光诱导损伤阈值对提升激光器使用寿命与出光效率有着重要意义。本文提出一种新型激光损伤程度量化评估法，该方法对薄膜元件在不同能量密度下的激光损伤程度量化分析，通过损伤趋势拟合，评估激光损伤阈值。对激光损伤区域的量化采用图像超分辨白光显微干涉测量法，可实现纳米量级测量精度。通过仿真验证该测量方法可实现纳米量级损伤结构的三维重构，重构损伤区域误差小于0.01%。在实验部分，以激光谐振腔镜及窗口片为测试样品，无需大量重复性激光损伤实验，基于单片样品在一组不同能量密度激光束照射下产生的单次损伤结果实现测量，结果数据与S-on-1方法吻合，偏差小于0.5J/cm2，两个样品多次测量结果的标准差分别为0.361J/cm2和0.064J/cm2。
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