30.4nm正入射成像系统滤光片

作者：王丽辉; 何玲平; 王孝坤; 尼启良; 陈波

来源：光学精密工程, 2008, (01): 42-47.

• EUV滤光片
• 线性吸收系数
• 反射比
• 透过率
• 单色仪 EUV filter
• linear absorption coefficient
• reflectance
• transmission
• monochromator

多层膜反射镜是30.4 nm正入射望远镜的主要反射元件,但它在紫外、可见和近红外光波段也具有很高的反射率,需要滤光片来消除这些长波辐射,而滤光片材料和膜层厚度对滤光片的性能起重要作用。根据原子散射因子,理论计算出几种材料波长和线性吸收系数之间的关系,确认铝是30.4 nm波段滤光片的最好材料。在考虑透过率和膜强度的基础上,确定了滤光片的膜层厚度。改进了现有的由Mcpherson 247掠入射软X射线-真空紫外单色仪和气体空心阴极光源组成的光谱测量装置,使其适合于透过率的测量,其波长扫描精度为±0.017~±0.097 nm,对所制备的铝滤光片进行25.6~1000 nm波段的透过率测量,测量结...

• 单位
  应用光学国家重点实验室; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 中国科学院研究生院