Al-Ti共掺杂MoS2复合涂层润滑性能研究

作者：赵岚; 曹明^*; 林继兴

来源：真空科学与技术学报, 2019, 39(10): 901-906.

DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2019.10.12

• 磁控溅射
• Al-Ti/MoS2复合涂层
• 摩擦学性能
• 真空热处理

采用磁控射频(RF)与磁控直流(DC)分别溅射金属铝靶,制备了润滑RF-Al-Ti/MoS2和DC-Al-Ti/MoS2复合涂层,并在真空条件下对制备涂层进行热处理以提高涂层耐磨损性能。结果表明,RF-Al-Ti/MoS2复合涂层中S/Mo原子比为1.55,有利于MoS2(002)面的形成,涂层平均摩擦系数低至0.1;由于RF-Al-Ti/MoS2复合涂层原子沉积效率更大,导致涂层结构致密,且RF-Al-Ti/MoS2复合涂层中Al原子含量高,有利于提升涂层抗氧化能力及耐磨损性能。对RF-Al-Ti/MoS2和DC-Al-Ti/MoS2复合涂层进行真空热处理,Ti和Al间扩散形成Ti-Al中间相进一步提升了涂层抗氧化性能,DC-Al-Ti/MoS2复合涂层磨痕形貌显示其耐磨损能力得到了明显提升;经500℃处理后,RF-Al-Ti/MoS2和DC-Al-Ti/MoS2复合涂层平均摩擦系数分别降低至0.08和0.07。总体上,射频溅射更有利于提升Al-Ti/MoS2复合涂层摩擦学性能。

• 单位
  吉林大学; 浙江工贸职业技术学院